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MEMS压力传感器

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0kPa~100kPa/200kPa 绝压传感器MEMS晶圆

•  工作温度范围-40℃~150℃

•  压力量程：0kPa~100kPa/200kPa

•  生命周期内精度和稳定性小于1%F.S.

•  车规级IATF16949 认证的工艺平台

•  符合RoHS & REACH 以及无卤要求

•  满足AEC-Q103 Grade 0标准

•  单颗芯片尺寸：1.0mmx1.0mmx0.4mm


•  汽车：摩托车三合一传感器；汽车TMAP 进气压力检测；BPS电池包热失控压力检测；EGR-TMAP 废气再循环压力检测；碳罐脱附压力检测；VBS真空助力传感器；汽车油改气进气压力检测

•  工业：压力变送器；工业真空度检测等


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